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教育研究施設:Ultra Clean Room (UCR)
ウルトラクリーンルーム 紹介パンフレット(PDFファイル)
全ページ(17.5MB)
0.目次~概要(3.1MB)
1.クリーンルーム(3.6MB)
2.超高純度ガス供給システム(3.1MB)
3.超純水供給システム/4.高性能薬液洗浄システム(4.8MB)
5.安全管理システム~交通案内図(3.0MB)
教育研究施設:Ultra Clean Facility (UCF)
ウルトラクリーン実験施設 紹介パンフレット(PDFファイル)
全ページ(14.4MB)
0.目次~概要(1.7MB)
1.クリーンルーム(2.9MB)
2.超高純度ガス供給システム(3.5MB)
3.超純水供給・高性能薬液洗浄システム(4.4MB)
4.中央監視システム~交通案内図(2.1MB)
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〒565-0871
大阪府吹田市山田丘2-1
大阪大学 大学院工学研究科
精密科学・応用物理学専攻
精密科学コース
E-mail:
www_admin[at]prec.eng.osaka-u.ac.jp
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