日 時 ： 2018年1月26日（金） 13：00～17：00
第10回 実用技術セミナー －新しい成膜・膜構造制御技術と応用例－
真空蒸着やスパッタリング法などの物理蒸着法や熱やプラズマ等を用いた化学
蒸着法は、我々の生活を支えるための基盤技術として必要不可欠なものとなっ
ています。最近では、地球温暖化抑制のため、様々な機器やデバイスのさらな
る省エネルギー化や小型・軽量化が進められています。成膜技術においても、
これらの実現に向けた新しい手法や膜構造制御技法が、開発され、実用化が図
られています。本セミナーでは、これらの研究・開発・製造に携わっておられ
る第一線の研究者・技術者の方々に講演していただきます。
日 時 ： 2018年1月26日（金） 13：00～17：00
場 所 ： 株式会社島津製作所関西支社マルチホール
（大阪梅田 阪急ターミナルビル14階）
定 員 ： 60名
